Cílem kurzu je na základě předchozích znalostí z fyziky vakua, plazmatu, tenkých vrstev a povrchů syntetizovat
prakticky použitelné modely plazmových technologií včetně potenciální aplikací.
Plazmové metody budou logicky rozděleny a popsány podle pracovního tlaku a postupně diskutovány jejich vlastnosti,
kontrukční řešení a možné aplikace. Základem přednášek budou klasické metody vakuového napařování, iontového
rozprašováním, magnetronového rozprašování (DC, RF, HIPIMs), obloukové výboje, plazmové trysky, atmosférické
plazmové procesy a další. Další přednášky se zaměří na detailní popis různých metod získávání iontů a jejich možné
aplikace do plazmových procesů, kapacitně vázaný výboj, induktivně vázaný výboj, mikrovlnná ionizace, ionizace
světlem, DBD, atd.
Závěrečná část přednášky bude zaměřena na možnosti diagnostiky plazmatu (LP, spektroskopie, SEERS, atd.) pro
výzkum a kontrolu plazmových procesů.
- Učitel: Martin Kormunda