Prazdna anotace
- Teacher: Martin Kormunda
- Teacher: Jindřich Matoušek
- Teacher: Jiří Pavluch
Cílem přednášky je seznámit studenty se základními poznatky z oblasti základů vakuové fyziky a techniky, fyziky
plazmatu a jejich aplikací pro generování plazmatu a jeho využití pro plazmové modifikace materiálů a depoziční
techniky. Úvodem budou studenti seznámení s obecnými zákonitostmi získávání nízkých tlaků a základními principy
a typy vývěv včetně jejich vhodných kombinací pro výzkumné aparatury, včetně měření celkových a parciálních tlaků
a průtoků plynů s ohledem zejména na depoziční procesy. Výše uvedené poznatky budou spolu se znalostmi fyziky
plazmatu využity při osvojování principů konstrukce plazmových depozičních systémů pro fyzikální metody depozice
(PVD), chemické a zejména plazmochemické metody depozice (PACVD). PVD techniky budou zaměřeny zejména
na magnetrony a RF zdroje plazmatu. Bude rozebrán vliv parametrů reaktorů na depozice a modifikace povrchů
materiálů s ohledem na možnosti řízení struktury a přípravu nanomateriálů definovaných parametrů změnou těchto
parametrů reaktoru a depozičního procesu. Studenti budou seznámeni s principy metod plazmové polymerace z
uhlovodíků, plazmové oxidace povrchů kovů a pulsní laserové depozice.
- Teacher: Jaroslav Pavlík
Prazdna anotace
- Teacher: Jaroslav Pavlík